光刻機龍頭股上市公司有：

大族激光：龍頭，近3日大族激光下跌1.11%，現報26.03元，2023年股價下跌-0.11%，總市值274.8億元。

從公司近三年凈利潤復合增長來看，近三年凈利潤復合增長為76.23%，最高為2021年的19.94億元。

2020年6月17日公司在互動平臺稱：公司在研光刻機項目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等領域的應用，今年有望實現小批量銷售。

華特氣體：龍頭，近3日股價上漲2.57%，2023年股價上漲0.9%。

從華特氣體近三年凈利潤復合增長來看，近三年凈利潤復合增長為33.47%，最高為2021年的1.29億元。

光刻機概念股其他的還有：

智光電氣：回顧近7個交易日，智光電氣有5天上漲。期間整體上漲11.66%，最高價為7.54元，最低價為9.02元，總成交量1.89億手。

永太科技：近7日股價上漲3.62%，2023年股價上漲1.63%。

奧普光電：在近7個交易日中，奧普光電有5天上漲，期間整體上漲5.43%，最高價為23.86元，最低價為22.12元。和7個交易日前相比，奧普光電的市值上漲了3.07億元。

數據僅供參考，不構成投資建議，據此操作，風險自擔，股市有風險，投資需謹慎。